X熒光光譜儀是材料科學、生命科學、環境科學等普遍采用的一種快速、準確而又經濟的多元素分析方法的儀器，同時對產品和材料質量進行無損檢測，是產品分析和過程控制分析等方面的儀器之一。

　　在吸收紫外和可見電磁輻射的過程中，分子被激發到激發電子態。大多數分子通過與其他分子碰撞，以熱的形式釋放出這部分能量。有些分子以光的形式釋放這部分能量。發射光的波長與吸收光的波長不同。
　　后一種過程稱為光致發光。分子發光包括熒光、磷光、化學發光、生物發光和散射光譜�；�于化合物熒光測量的分析方法稱為分子熒光光譜法。光源發出的光由光斬波器變為間歇光，由激發單色儀變為單色光，即熒光物質的激發光。
　　熒光物質在激發光下發出的熒光經單色儀轉換為單色熒光，然后照射在光電倍增管上。單色儀產生的光電流被放大器放大并傳輸到記錄器。一次激發一次發射。用雙單色儀系統可分別測量激發光譜和熒光光譜。