X熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型�；�于X射線熒光波粒二象性中波長特性原理的稱為波長色散型，基于能量特性的稱為能量色散型。

　　能量色散原理能量色散熒光計是一種高分辨率敏感的半導體檢測儀器和多通道分析儀，根據光子能量將X射線熒光光譜線分開，并根據每個元素的能量確定每種元素的含量。由于原理不同，儀器的結構也不同。
　　利用X射線的二次散射原理，激發樣品的X射線光譜。波長色散熒光計是用分光光度計將熒光束分散后，測量各種元素的特征X射線波長和強度，從而測定各種元素的含量。換言之，能量色散光譜儀檢測到的X射線是不同的。
　　當樣品被高能電子輻照時，入射電子被樣品中的電子減速，產生寬帶連續X射線譜。當入射光束為X射線時，樣品中元素的內層電子被激發，產生特征X射線，稱為二次X射線或X射線熒光。